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Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication

Sprache EnglischEnglisch
Buch Broschur
Buch Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication Klaus Graff
Libristo-Code: 02117363
Verlag Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG, Oktober 2012
This up-to-date monograph provides a thorough review of the relevant data and properties of the tran... Vollständige Beschreibung
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This up-to-date monograph provides a thorough review of the relevant data and properties of the transition-metal impurities generated during silicon-sample and device fabrication. The different mechanisms responsible for contamination are discussed, and a survey is given of their impact on device performance. The specific properties of the main and rare impurities in silicon are examined, as well as the detection methods and requirements in modern technology. This new edition includes important recent data and many new tables.

Informationen zum Buch

Vollständiger Name Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication
Autor Klaus Graff
Sprache Englisch
Einband Buch - Broschur
Datum der Veröffentlichung 2012
Anzahl der Seiten 270
EAN 9783642629655
ISBN 3642629652
Libristo-Code 02117363
Verlag Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
Gewicht 450
Abmessungen 155 x 235 x 16

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft > Werkstoffprüfung
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Elektronische Geräte und Materialien
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